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在半導體制造過程中,前期的全自動晶圓缺陷檢測技術非常重要。因為在后端的生產(chǎn)流程中,通常會有多片晶圓粘合到一起,或者把晶圓粘合到不透明的材料上。因為半導體材料對可見光都是不透明的,所以很難用可見圖像技術對粘合效果做表征或者檢測粘合表面的污染。近紅外檢測技術是在半導體工業(yè)的質量監(jiān)控一項有前途的新技術。本文重點介紹近紅外成像檢測技術在MEMS工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮的重要性!
從上世紀90年代初開始,世界范圍內掀起了研究高亮度LED的熱潮,以它為基礎的固體照明正在迅猛發(fā)展。因為高亮度LED采用雙異質結構,要求材料具有良好的晶格匹配,這個要求對用于異質結LED的材料體系提出了嚴格的限制。 Ⅲ-Ⅴ族氮化物半導體材料,擁有優(yōu)良的光電性質,化學性質非常穩(wěn)定,可在?高溫、酸堿、輻射環(huán)境下使?用,并且禁帶寬度大,因此在大功率的電子器件方面頗具吸引力,已引起了國內外眾多研究者的興趣。人們感興趣的Ⅲ-Ⅴ族氮化物是AIN、GaN、InN及其合金,通過控制它們各自的組份,其禁帶寬度可從InN的0.7eV到GaN的3.4eV直到AlN的6.2eV連續(xù)變化,覆蓋了整個可見光區(qū),并擴展到紫外范圍,適合制備高亮度LED。
氧化亞銅為一價銅的氧化物,是鮮紅色粉末狀固體,幾乎不溶于水,在酸性溶液中化為二價銅。它是一種重要的P型半導體材料,禁帶寬度僅為2.1eV,光電轉換效率可達到18%。1998年氧化亞銅被發(fā)現(xiàn)可作為催化劑在陽光下將水分解成氫氣和氧氣,證明是一種極具前景的光催化氧化材料?,F(xiàn)今,隨著納米材料的發(fā)展,不僅已經(jīng)制備各種尺寸及形貌的氧化亞銅微納米結構,還提出了多種形貌控制理論,如量子點、納米線、納米片、納米球、多面體、空心結構等。納米級的Cu2O還具有獨特的光學和磁學性質,在光電轉換、工業(yè)催化和氣體傳感器等方面也得到了廣泛的應用。
隨著吸煙人口的不斷增長,與香煙有關的各類物證出現(xiàn)在刑事案件現(xiàn)場的比例逐步提高,進行香煙品牌和來源的分析,對鎖定偵查范圍、有效打擊犯罪變得尤為重要,現(xiàn)階段已經(jīng)對香煙煙蒂、煙灰、煙絲、香煙盒外包裝薄膜、煙用內襯紙等進行了多項研究并取得了一定的成果。香煙盒外包裝薄膜即卷煙小盒及條盒外包裹的一層薄膜,全世界有85%以上的煙盒采用透明包裝材料進行包裝。因其具有阻隔性、透明性、熱封性、機械加工性、透氧透濕率小等特性,能有效防止香煙吸潮霉變,阻止煙草香氣外逸,具有良好的阻隔性和保香性。[1]
隨著社會與經(jīng)濟的發(fā)展,環(huán)境污染越來越成為困繞著人類健康和制約社會繼續(xù)發(fā)展的嚴峻問題,多環(huán)芳烴類污染物,在環(huán)境中具有長期穩(wěn)定性、可遷徙性以及生物富集性,能干擾生物內分泌系統(tǒng),損壞生物的神經(jīng)系統(tǒng),潛在的致癌作用[1-3]。表面增強拉曼光譜(Surface enhanced Raman spectroscopy, SERS)作為一種強有力的原位分析技術,不僅可以像拉曼光譜一樣能夠提供分子結構的特征光譜,而且還可以極大地增強被測分子的拉曼信號,通??梢栽鰪?個數(shù)量級以上,有時甚至可以達到14個數(shù)量級,從而達到單分子檢測。文獻研究表明表面增強拉曼光譜完全可以實現(xiàn)對特定環(huán)境污染物的高靈敏度定性和定量檢測。過去受限于拉曼光譜儀的發(fā)展,表面增強拉曼光譜基本上只能作為一種實驗室技術。隨著激光器技術、光纖技術以及CCD檢測技術的發(fā)展,拉曼光譜儀可以集成為一個小型、快速、簡便的檢測設備,進而使拉曼光譜儀應用于多環(huán)芳烴快速分析領域成為可能[4-11]。